有源向量塑料薄膜三極管（TFT）顯示器在二十世紀(jì)九十年代剛開(kāi)始民用型至今，它已變成當(dāng)代衣食住行必不可少的構(gòu)成，其運(yùn)用遠(yuǎn)不僅限于電視和智能機(jī)，它還存有于人們生活起居中的關(guān)鍵通訊和信息內(nèi)容專(zhuān)用工具：腕表（智能穿戴設(shè)備）、家用電器、廣告詞、標(biāo)識(shí)牌、小車(chē)等。文中關(guān)鍵探討顯示信息生產(chǎn)制造加工工藝塊所必須的特種氣體，并對(duì)各種各樣汽體供貨方式做好具體描述。

  TFT顯示器生產(chǎn)制造與集成電路工藝生產(chǎn)制造層面有許多共同之處，例如：這二種生產(chǎn)制造全過(guò)程上都必須應(yīng)用很多汽體、例如加工工藝流程中的堆積、刻蝕、清理和夾雜，也有別的流程應(yīng)用的汽體種類(lèi)也都較為類(lèi)似。

  顯示系統(tǒng)層次

  現(xiàn)階段銷(xiāo)售市場(chǎng)上帶二種顯示器：有源向量液晶顯示器（AMLCD）和AMOLED。AMLCD和AMOLED的顯示器基礎(chǔ)構(gòu)件同樣。顯示系統(tǒng)有4層：濾色層、塑料薄膜三極管電源開(kāi)關(guān)層（汽體適用于這一層）、用以操縱色調(diào)挑選的快門(mén)速度層、RGB（紅綠藍(lán)）色調(diào)過(guò)濾裝置。

  有關(guān)側(cè)板/TFT

  顯示器選用的塑料薄膜三極管為2D漸變色型三極管，類(lèi)似FinFET以前的大宗商品CMOS。有源向量顯示器每一清晰度有一個(gè)三極管，驅(qū)動(dòng)器三極管內(nèi)的一種RGB色調(diào)。隨之顯示器像素提升，三極管縮小，但不容易變小到半導(dǎo)體設(shè)備的亞μm級(jí)規(guī)格。比如，屏幕像素密度為325PPI的智能手環(huán)，其三極管尺寸約為2mm2，而80 PPI屏幕像素密度的4K電視機(jī)，三極管尺寸約為8mm2。

  優(yōu)質(zhì)氮?dú)?br />
  側(cè)板種類(lèi)

  顯示器的塑料薄膜三極管機(jī)器設(shè)備關(guān)鍵有三種：非晶硅（a-Si）、超低溫光伏電池（LTPS）和氫氧化物（MO），也稱之為全透明非晶金屬氧化物半導(dǎo)體材料（TAOS）。AMLCD控制面板應(yīng)用a-Si一般是用以低分辨率顯示器和電視，而高像素顯示器選用LTPS三極管，但是因?yàn)槌杀举M(fèi)較高、擴(kuò)展性受到限制，一般用以大中小型顯示器。AMOLED控制面板應(yīng)用LTPS和MO三極管，在其中MO機(jī)器設(shè)備一般用以電視和大中型顯示器。工業(yè)氫氣

  汽體的應(yīng)用方法

  因?yàn)榧夹g(shù)性變化，對(duì)比AMLCD控制面板，出產(chǎn)AMOLED控制面板需要應(yīng)用的汽體還要產(chǎn)生變化。如圖示，現(xiàn)階段出產(chǎn)顯示器時(shí)選用多種多樣汽體。

  這種汽體可分成兩大類(lèi)：電子器件特種氣體（ESG）和電子器件大宗商品汽體（EBG）。電子器件特種氣體包含硅烷、三氟化氮、氟（當(dāng)場(chǎng)造成）、六氟化硫、二氧化氮及其磷化氫化合物，占顯示器生產(chǎn)制造中應(yīng)用汽體的52％，而電子器件大宗商品汽體包含N2、氡氣、氦氣、co2、二氧化碳和氬氣，占顯示器生產(chǎn)制造中應(yīng)用汽體的48％。

  混合氣

  技術(shù)性發(fā)展趨勢(shì)

  TFT-LCD（塑料薄膜三極管液晶顯示器）是一種基本技術(shù)性。大屏使用MO/白色OLED（有機(jī)發(fā)光二極管）。中小屏使用LTPS / AMOLED。OLED面臨的難點(diǎn)是<1微米粒子對(duì)產(chǎn)率的影響，此外由于掩碼步驟增加，其成本遠(yuǎn)高于非晶硅（a-Si）。此外，OLED步驟中水分對(duì)生產(chǎn)良率具有影響。工業(yè)氣體

  遷移率極限是改用MO和LTPS的主要原因之一，其目的是通過(guò)更高的分辨率，實(shí)現(xiàn)更好的觀看體驗(yàn)等。

  MO面臨的挑戰(zhàn)在于OLED步驟后，如何避免IGZO金屬化/潮濕造成的氧化，后者將導(dǎo)致產(chǎn)率下降。制造過(guò)程中需使用大量的N2O（氧化亞氮），這意味著可能需要考慮改變傳統(tǒng)供應(yīng)模式。

  雖然AMLCD顯示屏目前仍是市場(chǎng)主流，但AMOLED顯示屏增長(zhǎng)迅速。目前約有25%的智能手機(jī)采用AMOLED顯示屏，預(yù)計(jì)這一比例到2021年將達(dá)到約40%。OLED電視同樣增長(zhǎng)迅速，同比增長(zhǎng)率達(dá)到兩位數(shù)。根據(jù)IHS數(shù)據(jù)，在未來(lái)5年，AMOLED顯示屏面板的收入預(yù)計(jì)年均復(fù)合增長(zhǎng)率（CAGR）將達(dá)到18.9%，而AMLCD顯示屏的收入同期CAGR為2.8%，所有顯示屏總收入同期CAGR為2.5%。隨著AMOLED顯示屏快速增長(zhǎng)，顯示屏制造商加快了AMOLED制造設(shè)備的投資。