高純氣體管道材料的好壞影響高純氣體管道的質(zhì)量，那挑選管道材料時(shí)都要考慮哪些方面的因素。

管道材料特性對(duì)輸送高純氣體管道而言，其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體滲透性 、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性 、抗腐蝕性幾個(gè)方面。

1.氣體滲透性

氣體從壓力(或分壓力)高的一側(cè)透過材料向壓力(或分壓力)低的一側(cè)流入的現(xiàn)象成為氣體滲透。 因?yàn)榭諝庵醒鯕夂偷獨(dú)夥謮毫?大、氣體分子相對(duì)較小，管道材料對(duì)氣體的滲透性主要表現(xiàn)氧氣和氮?dú)獾臐B透 ， 一般對(duì)氧氣的滲透測(cè)試比較多。

實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明， 對(duì)于輸送 ppm 級(jí)及更高純度要求的氣體， 從氣體滲透角度必須選用不銹鋼管或者鋼管， 如果我們不恰當(dāng)?shù)剡x用了不符合要求的管道材料，那么，無論我們采取什么凈化手段，都將是無濟(jì)于事的。

2.出氣速率:

材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內(nèi)部存在著某些雜質(zhì) ，如氮 、碳?xì)浠衔锏?，在高純氣體輸送過程中，這些雜質(zhì)會(huì)緩慢地釋放出來，污染高純氣體，尤其是雜質(zhì)要求在 ppb 以上級(jí)的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。

3.吸附性:

由于水分等雜質(zhì)是極性分子 ， 吸附性很強(qiáng)。 橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料極易吸附水分等雜質(zhì) ，銅材對(duì)水吸附性極強(qiáng) ，使用這些材料輸送高純氣體易被污染 ， 除了輸送ppm 級(jí)以下的氧氣會(huì)使用紫銅管外， 高純氣體都不采用銅管和塑料管，氣體會(huì)接觸到的墊片、填料也不得采用橡膠、塑料材料(包括聚四氟乙烯 ) 。

4. 表面粗糙度和耐磨性:

為了確保輸送的氣體純凈度， 要求管道材料內(nèi)表面有一個(gè)極高的光潔度， 這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留，可以在吹掃時(shí)比較容易吹凈。

管材比較光潔而且耐磨， 可以在氣流高速 沖刷下，產(chǎn)生 的金屬粒就少 ，試驗(yàn)資料數(shù)據(jù)粒子數(shù)表明不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少 ，所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。

5.抗腐蝕:

微電子生產(chǎn)中， 經(jīng)常使用一些腐蝕性很強(qiáng)的氣體 ，這時(shí)必須采用耐腐蝕的管材，否則管道會(huì)被腐蝕，輕則表面產(chǎn)生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體 ，還會(huì)發(fā)生安全事故。

6. 內(nèi)表面處理

為了進(jìn)一步改善管道材料特性， 對(duì)管道內(nèi)表面進(jìn)行處理，一般有三種方法 ：酸洗鈍化(AP ) ，光亮退火(BA) 和 電解拋光 (EP) 處理 。

試驗(yàn)資料和實(shí)踐都證明，通過表面處理后 。管道材料的粗糙度減小。出氣速率降低。表面吸附性減弱。

以上就是小編整理的高純氣體管道材料選擇需要考慮的因素，如有需要，歡迎咨詢寶雞市誠(chéng)信工業(yè)氣體有限公司。